Khu công nghiệp Quốc Oai – Thạch Thất đã được phê duyệt quy hoạch xây dựng dựa trên nền tảng của hai cụm công nghiệp là Cụm công nghiệp Phùng Xá (huyện Thạch Thất) và Cụm công nghiệp Quốc Oai (huyện Quốc Oai). Qua đó việc quy hoạch phát triển khu công nghiệp Quốc Oai – Thạch Thất là phù hợp với đường lối phát triển công nghiệp hoá của tỉnh đã đề ra.